探針臺(tái)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測(cè)試。廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。此定制探針臺(tái)可以配合光電流顯微鏡使用，可以通入不同波長(zhǎng)的光。
•本顯微鏡是在金相顯微鏡基礎(chǔ)上導(dǎo)入另一路光源，用于輻照樣品以測(cè)試樣品在特定波長(zhǎng)及能量下的電氣特性等測(cè)試目的。
•本顯微鏡設(shè)計(jì)為雙光路或3光路，其中一路為導(dǎo)入光通路，另一到兩路為成像光路導(dǎo)入光為平行的激光或其它線性光源，波長(zhǎng)范圍200nm~20000nm，中間可加入多個(gè)波片過(guò)濾，起偏及偏振角度無(wú)級(jí)360度調(diào)節(jié)。光斑輻照直徑有650nm紅光指示。所有模塊均可拉出設(shè)計(jì)，對(duì)導(dǎo)入光性質(zhì)無(wú)影響。
•導(dǎo)入光光路可選擇一個(gè)光時(shí)間開(kāi)關(guān)，精確控制導(dǎo)入光的輻照時(shí)間，精度1ms，范圍2ms~∞，在控制界面上可對(duì)各種參數(shù)進(jìn)行詳細(xì)設(shè)置。
•成像光路為同軸照明金相成像，其中一路為1倍成像，可選擇第2路成像，為物鏡的0.25~10倍率，通常在高低溫測(cè)試系統(tǒng)里會(huì)用到，同一個(gè)物鏡不切換，得到兩個(gè)不同視野的成像。
產(chǎn)品實(shí)物圖：
