從傳統(tǒng)上講，射頻探針的接觸是用鈹（beryllium）-銅（BeCu）制作的。而且人們最早采用射頻探針技術(shù)與今天的工具是很不相同的，之后工程師在探針技術(shù)上取得了突破，才確定了射頻探針的基本
通常需要確定以下問題來確定探針臺的選型：1、最大需要測幾英寸的晶圓或者器件？2、探針臺機(jī)械精度要求多高？3、點(diǎn)測樣品的尺寸規(guī)格為多少？100um*100um或60um*60um的pad，還是FIB制
探針臺系統(tǒng)分為手動探針臺與自動探針臺，以下我們主要分析手動探針臺：探針臺用途：手動探針臺又稱探針測試臺主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測試提供一個測試平臺，探針臺可吸附多
